特點(diǎn)

• 控制精度高：線性度可達(dá) ±0.3% F.S.，磁滯為 0.5% F.S.，能實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制6。

• 響應(yīng)速度快：響應(yīng)性為 0.2sec，可快速響應(yīng)控制信號(hào)的變化，及時(shí)調(diào)整輸出壓力6。

• 功能豐富：具有壓力顯示、錯(cuò)誤顯示功能和直接記憶功能等。配備數(shù)字顯示屏，控制狀態(tài)一目了然。還支持 IO - Link 通信，除數(shù)據(jù)收集外，還可從頂部進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，便于監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)6。

• 適用范圍廣：適用于潔凈壓縮空氣（ISO1.3.2）。EVD-1500-008AN 采用禁油規(guī)格和不銹鋼閥體，適用于半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N?的壓力控制，也適合空氣（N?）吹氣45。

• 低壓控制性能好：EVD-1500-008AN 設(shè)定壓力為低壓用時(shí) 0.01?0.2MPa，標(biāo)準(zhǔn)時(shí) 0.02?0.5MPa，靈敏度為 0.001MPa。采用特殊膜片結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了低壓范圍內(nèi)的高靈敏度調(diào)整4。

技術(shù)參數(shù)

• 電源電壓：DC24V±10％（脈動(dòng)率 1% 以下的穩(wěn)定化電源）5。

• 輸入信號(hào)：輸出精度 ±6% 滿刻度以下，模擬輸出 1－5VDC（連接負(fù)荷阻抗 500kΩ 以上）5。

• 最高使用壓力：700kPa 或 1000kPa5。

• 壓力控制范圍：0～500kPa 或 0～900kPa5。

• 耐振動(dòng)性：98m/s2 以下5。

• 使用環(huán)境溫度：5～50℃5。

• 配管接管口徑：Rc1/45。

• 保護(hù)回路：有電源逆接保護(hù)、開關(guān)輸出逆接保護(hù)、開關(guān)輸出負(fù)荷短路保護(hù)5。

應(yīng)用